五靶頭等離子射頻磁控濺射儀VTC-5RF合肥科晶產品簡介:
VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態電解質材料,通過5種元素,按16種不同配比組合。
五靶頭等離子射頻磁控濺射儀VTC-5RF合肥科晶產品技術參數:
設備名稱 | 5靶頭等離子射頻磁控濺射儀--VTC-5RF |
主要特點 | l多種濺射靶頭及電源可選,自由組合,具體請致電我公司銷售部。 l根據所使用的電源(DC或RF),可以沉積金屬或非金屬材料。 l一個旋轉開關可以依次激活濺射頭,可在真空或等離子體環境中自動切換,不影響真空度。 l可以安裝五種不同材料的靶材,每個靶頭可單獨設置濺射時間功率等參數,用于生長不同成分的薄膜。 l可選購多個射頻電源,同一時間濺射多個靶材。 l可選配設備控制軟件,用電腦控制濺射的所有參數。 |
濺射腔體 | l真空腔體采用304不銹鋼制作 l腔體內部尺寸: 470mm L×445mm D×522mm H (105 L) l鉸鏈式腔門,直徑為Φ380mm,上面安裝有Φ150mm的玻璃窗口 |
濺射頭&樣品臺 | l5個1英寸的磁控濺射頭,帶有水冷夾層(圖一) l濺射腔體內安裝有電動擋板 l濺射距離: 50–80 mm l濺射角度: 0–25°(可調) l實驗時,需要將靶材和靶材的銅墊片用導電銀漿粘合粘合,(可在本公司購買導電銀漿) l可以單獨訂購RF連接線作為備用(圖二) l設備需要一臺水冷機,用于靶頭冷卻(圖三) l原理圖請參考(圖四) | | | 圖一 | 圖二 | 圖三 | |
樣品臺 | l直徑為150mm的樣品臺,上面覆蓋一旋轉臺,帶有10mm的孔洞,每次露出一個樣品接收濺射成膜。 l樣品臺尺寸:Φ150mm,可通過程序控制來旋轉,可制作16種不同組分的薄膜 l樣品臺可以加熱,最高溫度可達600℃(根據配置不同可能會有變動) |
真空系統 | l安裝有KF40真空接口 l真空度:4.0e-5Torr(分子泵) l可在本公司選購各種真空泵 |
進氣 | l設備上配1/4英寸進氣口方便連接氣瓶 l設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕,方便調節氣流 |
靶材 | l所要求靶材尺寸:直徑為25mm,最大厚度3mm l可在本公司選購各種靶材 |
薄膜測厚儀(可選) | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上 |
凈重 | 60Kg(不包括泵) |
質量認證 | CE認證 |
質保 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
使用提示 | l此設備為DIY設備,參數變化較大購買前請務必電話仔細溝通 l為了得到較好的薄膜質量,必須通入高純氣體(建議> 5N) l在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 l要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面 l超聲波清洗:(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4)真空烘箱除去水分。 l等離子清洗:可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。 l制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。 | | | | | 超聲波清洗機 | 等離子清洗機 | 蒸鍍儀 | 手套箱 | | |
警告 | l注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。 l氣瓶上應安裝減壓閥(設備標配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 l濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶 |